是否接受進口

拒絕進口

品牌

無推薦品牌

型號

無推薦型號

技術規格及參數

1.機架：
1.1▲框架采用鋁型材搭建，重量輕便、承載能力強，散熱性好。
1.2▲外殼采用碳鋼烤漆及圓角處理，輕便美觀。左右及后外殼采用磁力扣+平面鎖固定方式，便于拆裝。前外殼可根據使用空間選擇開合或拆卸方式。
1.3▲顯示屏360度自由旋轉，可調視距、視角、自由懸停。

2.腔體及加熱系統:
2.1▲可支持直徑200 mm 基片。
2.2▲腔材質為不銹鋼，腔體表面經過電解拋光處理。
2.3▲自動開關腔門設計，配備腔門關閉檢測開關。
2.4▲噴淋設計，進氣自上而下流經襯底。
2.5▲腔體四周及上下蓋板具備加熱保溫功能。
2.6▲樣品臺加熱溫度可達500℃，溫度控制精度±1℃。

3.前驅體供給及加熱系統（6路）：
3.1▲配備6路前驅體源管路：2路常溫源，適用于飽和蒸汽壓較高的源，4路可加熱源，適用于需要加熱的固態或液態源。
3.2▲每路源均配備閥門、手動閥和不銹鋼源瓶。
3.3▲每路源均配備載氣（N2），載氣管路配備計量閥、閥門。
3.4▲不銹鋼管路及接頭均采用EP等級，經過電解拋光處理；氣體管路連接部件采用金屬VCR密封。
3.5▲前驅體源瓶與腔體之間管路配備模塊化一體式加熱保溫系統，保證管路直角接頭、源瓶手動閥連接處等位置無冷凝點。源瓶及管路的控溫范圍：室溫～120℃，控制精度：±1℃。
3.6▲提供N2氣路接口用于吹掃，N2采用高精度MFC進行流量控制。

4.反應物供給系統（2路）：
4.1▲H2O管路配備閥門及水源瓶。
4.2▲提供N2氣路接口用于吹掃，N2采用高精度MFC進行流量控制。

5.真空系統及加熱系統：
5.1▲配置標準油泵，用于抽真空。
5.2▲配備兩個真空規用于壓力測量，保證真空及大氣時的測量精度。1個真空薄膜規用于工藝時高精度測量，量程范圍：0.005Torr~10Torr ，1個真空規用于測量至大氣壓，量程范圍：1Torr~1000Torr。
5.3▲抽氣管路配備加熱裝置，加熱可達150℃，控溫精度為±1℃。

6.離子體系統：
6.1▲選用工業用電源，質量可靠，壽命長。
6.2▲采用電感耦合遠程等離子體源，頻率13.56 MHz，功率可選配。
6.3▲配備自動匹配器，能夠自動進行阻抗匹配，縮短匹配時間。
6.4▲腔體四周及上下蓋板具備加熱保溫功能。
6.5▲腔體與等離子體裝置之間集成隔離裝置。
6.6▲配置1路等離子體反應氣，載氣管路配備質量流量計及閥門。

7.臭氧系統：
7.1▲設備系統集成國產臭氧發生器和毀滅器。
7.2▲臭氧發生器通過調節氧氣流量來調節臭氧產量。
7.3▲臭氧產量：<7g/h，臭氧濃度范圍：44.5-90.0 g/m3。
7.4▲設備系統配備流量計調節氧氣流量。
7.5▲配備毀滅器用于處理殘留的臭氧。

8.控制及軟件系統：
8.1▲控制系統采用PLC+工控機+19寸觸摸屏方式實現，系統通過高速以太網進行通訊。采用PLC對設備進行實時控制，同時實現基于Windows 操作系統的人機界面互動。
8.2▲輸入方式：鼠標、鍵盤和觸摸屏。
8.3▲支持邏輯互鎖功能，防止用戶誤操作，并彈出信息對話框進行提示。
8.4▲支持“一鍵沉積”功能，點擊運行按鍵即可自動完成真空抽取、升溫、材料沉積、降溫等一系列步驟。
8.5▲支持配方編輯功能，配備單一材料和多層材料兩種模式的配方編輯，可實現單層、摻雜或復合材料的沉積。
8.6▲支持實時監測、歷史數據、報警及日志功能，配方內容、工藝運行時的壓力、溫度、時間等參數可導出保存。
8.7▲支持源瓶維護功能，配備獨立的源瓶更換操作界面，可在線清洗氣體管路，用戶根據流程逐步正確完成更換源瓶操作，提高用戶操作的安全性。
8.8▲支持用戶權限管理功能，可根據用戶級別設定使用權限，防止誤操作，保證設備和人身安全。
8.9▲支持安全及提醒參數配置、IO互鎖列表信息功能，用戶可自定義設備報警范圍，可通過源瓶使用情況記錄了解前驅體源用量。

9.安全防護系統：
9.1▲對高溫區進行隔熱處理，防止可接觸位置溫度過高造成傷害。
9.2▲潛在的安全相關位置均粘貼安全標簽用于提示用戶潛在的風險及防范措施。例如：高溫、危險電壓等標簽。
9.3▲電氣硬件互鎖設計包含CDA等硬件互鎖（Interlock）功能，防止誤操作的發生，保證設備和人身安全。

10.制程工藝及服務：
10.1▲除提供成熟的制程配方工藝之外，可以協助開發新材料的工藝制程配方，幫助節省工藝摸索的時間，提升科研效率及成果。

質保期

1年

售后要求

1. 質(zhi)保(bao)(bao)(bao)(bao)(bao)期(qi)：中(zhong)(zhong)標(biao)(biao)(biao)(biao)人(ren)(ren)(ren)提供(gong)(gong)制(zhi)(zhi)造(zao)商(shang)(shang)免費(fei)(fei)質(zhi)保(bao)(bao)(bao)(bao)(bao) 1 年(nian)，時(shi)(shi)間(jian)自(zi)最終驗(yan)收合(he)(he)(he)格并交付使用之日起(qi)計算(suan)，在(zai)(zai)保(bao)(bao)(bao)(bao)(bao)修(xiu)(xiu)(xiu)期(qi)內(nei)，一旦(dan)發生質(zhi)量問題，投標(biao)(biao)(biao)(biao)人(ren)(ren)(ren)保(bao)(bao)(bao)(bao)(bao)證在(zai)(zai)接到通(tong)知24小(xiao)時(shi)(shi)內(nei)趕到現(xian)場進(jin)行修(xiu)(xiu)(xiu)理或(huo)更(geng)換(huan)，保(bao)(bao)(bao)(bao)(bao)修(xiu)(xiu)(xiu)期(qi)間(jian)維修(xiu)(xiu)(xiu)及(ji)零(ling)件更(geng)換(huan)費(fei)(fei)用由(you)(you)廠(chang)家(jia)負擔。由(you)(you)制(zhi)(zhi)造(zao)商(shang)(shang)提供(gong)(gong)質(zhi)保(bao)(bao)(bao)(bao)(bao)服(fu)(fu)務(wu)(wu)，由(you)(you)制(zhi)(zhi)造(zao)商(shang)(shang)提供(gong)(gong)售(shou)后服(fu)(fu)務(wu)(wu)。如(ru)(ru)未(wei)按上(shang)述約定，在(zai)(zai)收到通(tong)知后2個工作日內(nei)維修(xiu)(xiu)(xiu)或(huo)更(geng)換(huan)不符(fu)或(huo)有缺陷的(de)(de)(de)貨(huo)(huo)物(wu)(wu)(wu)(wu)或(huo)部(bu)件，則(ze)甲(jia)方有權采取必要(yao)(yao)的(de)(de)(de)補(bu)救措施并追究乙方的(de)(de)(de)違約責任(ren)，由(you)(you)此導(dao)致的(de)(de)(de)責任(ren)和(he)費(fei)(fei)用由(you)(you)乙方承擔。 2. 維修(xiu)(xiu)(xiu)響應時(shi)(shi)間(jian)：前述保(bao)(bao)(bao)(bao)(bao)修(xiu)(xiu)(xiu)期(qi)內(nei)，如(ru)(ru)本合(he)(he)(he)同(tong)項下的(de)(de)(de)貨(huo)(huo)物(wu)(wu)(wu)(wu)出現(xian)損壞和(he)故(gu)障，則(ze)乙方應在(zai)(zai)接到甲(jia)方通(tong)知后24小(xiao)時(shi)(shi)內(nei)趕到現(xian)場免費(fei)(fei)予以(yi)維修(xiu)(xiu)(xiu)或(huo)調換(huan)并無條(tiao)件免費(fei)(fei)提供(gong)(gong)所需的(de)(de)(de)零(ling)部(bu)件。并在(zai)(zai)48小(xiao)時(shi)(shi)內(nei)解決問題，如(ru)(ru)在(zai)(zai)規定時(shi)(shi)間(jian)內(nei)不能解決設(she)(she)(she)備故(gu)障，應提供(gong)(gong)相(xiang)同(tong)檔次(ci)、功能的(de)(de)(de)設(she)(she)(she)備給招(zhao)標(biao)(biao)(biao)(biao)人(ren)(ren)(ren)代用。 3. 驗(yan)收標(biao)(biao)(biao)(biao)準：根據招(zhao)標(biao)(biao)(biao)(biao)要(yao)(yao)求及(ji)雙方所簽訂的(de)(de)(de)技(ji)(ji)術協議書逐條(tiao)驗(yan)收，設(she)(she)(she)備經(jing)過雙方檢驗(yan)認(ren)可后，簽署驗(yan)收報(bao)(bao)告，產(chan)品保(bao)(bao)(bao)(bao)(bao)修(xiu)(xiu)(xiu)期(qi)自(zi)驗(yan)收合(he)(he)(he)格之日起(qi)算(suan)，由(you)(you)投標(biao)(biao)(biao)(biao)人(ren)(ren)(ren)提供(gong)(gong)產(chan)品保(bao)(bao)(bao)(bao)(bao)修(xiu)(xiu)(xiu)文件。 以(yi)下條(tiao)件時(shi)(shi)，采購人(ren)(ren)(ren)才向中(zhong)(zhong)標(biao)(biao)(biao)(biao)人(ren)(ren)(ren)簽發貨(huo)(huo)物(wu)(wu)(wu)(wu)驗(yan)收報(bao)(bao)告： a、中(zhong)(zhong)標(biao)(biao)(biao)(biao)人(ren)(ren)(ren)已按照合(he)(he)(he)同(tong)規定提供(gong)(gong)了全(quan)部(bu)產(chan)品及(ji)完(wan)整的(de)(de)(de)技(ji)(ji)術資料； b、貨(huo)(huo)物(wu)(wu)(wu)(wu)符(fu)合(he)(he)(he)招(zhao)標(biao)(biao)(biao)(biao)文件技(ji)(ji)術規格書的(de)(de)(de)要(yao)(yao)求，性能滿足要(yao)(yao)求； c、貨(huo)(huo)物(wu)(wu)(wu)(wu)具備產(chan)品合(he)(he)(he)格證。 4. 技(ji)(ji)術培訓(xun)：在(zai)(zai)用戶(hu)所在(zai)(zai)地對用戶(hu)給予一年(nian)內(nei)免費(fei)(fei)搬遷已安(an)(an)裝(zhuang)調試(shi)完(wan)畢(bi)的(de)(de)(de)合(he)(he)(he)同(tong)貨(huo)(huo)物(wu)(wu)(wu)(wu)1次(ci)、免費(fei)(fei)調試(shi)已安(an)(an)裝(zhuang)調試(shi)完(wan)畢(bi)的(de)(de)(de)本合(he)(he)(he)同(tong)項下貨(huo)(huo)物(wu)(wu)(wu)(wu)1次(ci)、免費(fei)(fei)培訓(xun)服(fu)(fu)務(wu)(wu)1次(ci)。