技術規格及參數
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1、參數分析儀主機 (1)可支持9個功能模塊插槽。 (2)可支持6個雙通道PMU模塊。 (3)提供軟件包: 軟件具有450多個應用測試庫。用戶界面提供觸滑或點擊控制功能,能為現代半導體、材料和工藝表征提供高級測試定義、參數分析、圖表繪制和自動化功能。 (4)內置接地單元:提供雙三同軸輸出端接口、5路接線柱。最大電流:使用雙三同軸連接時為2.6A;使用5路接線柱時為9.5A。 (5)15.6英寸觸摸屏高清顯示器(1920x1080) 。 (6)接口:USB,VGA,HDMI,RS-232,以太網。 (7)內置測量視頻:測試視頻由全球應用工程師提供,分為4 種語言 2、高功率源測量單元 2個 (1)功率:21W (2)電流測量量程:8個量程,1A,100mA,10mA,1mA,100μA,10μA,1uA,100nA (3)電流測量最小分辨率:100fA (4)電壓測量量程:4個量程,200V,20V,2V,200mV (5)電壓測量最小分辨率:0.2uV (6)電流源量程:8個量程,1A,100mA,10mA,1mA,100μA,10μA,1uA,100nA (7)電流源最小分辨率:5pA (8)電壓源量程:4個量程,200V,20V,2V,200mV (9)電壓源最小分辨率:5uV (10)輸入阻抗:>10^13Ω (11)測量接口:每個SMU上三個迷你三同軸(母頭)接口,用于Force、Sense 和Sense Lo,一個定制15針D-Sub(母頭)接口 3、遠程前端放大器模塊1個 (1)功能:可擴展任意SMU型號的電流范圍,擴展SMU提供5個小量程10nA,1nA,100pA,10pA,1pA,最小分辨率:10aA。 (2)輸入接口:一個定制接口,15 針,D-Sub (公頭) (3)輸出接口:兩個三同軸接口(母頭) 4、C-V多頻率電容單元,1個 (1)AC阻抗測量 (C-V, C-f, C-t) (2)測量參數:CP-G, CP-D, CS-RS, CS-D, R-jX, Z-theta (3)頻率范圍:1kHz ~ 10MHz (4)源頻率精度:±0.1% (5)信號輸出電平范圍:10 mVrms ~ 1Vrms (6)分辨率:1mVrms (7)輸出阻抗:100Ω (8)DC 電壓偏置范圍:±30V(60V差分) (9)DC 電壓偏置分辨率:1.0mV (10)最大DC電流:10mA (11)掃描參數 :DC偏置電壓, 頻率, AC電壓 (12)掃描類型: 線性, 自定義 (13)掃描方向:向上掃描, 向下掃描 (14)測量點數: 4096 (15)輸出接口: 四個SMA接口(母頭) 5、IV/CV多通道開關模塊,1個 功能:實現DC I-V 和C-V模塊自動切換.最多四條通道。 6、所響應(ying)產品必須是全新、未使(shi)用過(guo)的原裝(zhuang)合格正(zheng)品(包括零(ling)部件(jian)),如安裝(zhuang)或配置了(le)軟件(jian)的,須為正(zheng)版(ban)軟件(jian)
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